三坐標(biāo)測頭是通過本身的線位移或角位移產(chǎn)生瞄準(zhǔn)信號的，位移量也限制在很小的范圍，如果超出該范圍將會使測頭損壞，因此測頭保護(hù)意識是控制系統(tǒng)的任務(wù)之一。

對于出發(fā)時(shí)測頭，控制系統(tǒng)有保護(hù)措施。當(dāng)測頭運(yùn)動(dòng)時(shí)，CPU不斷跟蹤x，y，z三個(gè)坐標(biāo)值。若測端與工件接觸，測頭發(fā)出采樣信號。在中斷服務(wù)程序中，CPU不僅獨(dú)處x,y,z三個(gè)坐標(biāo)的瞬時(shí)值，并將他們存入采樣換中去，而且同時(shí)停止插補(bǔ)運(yùn)算，使坐標(biāo)測量機(jī)停止運(yùn)動(dòng)。CPU根據(jù)預(yù)先設(shè)定的后退速度與后退距離，按與原進(jìn)給相反的方向重新設(shè)定命令位置，控制伺服系統(tǒng)使測頭原進(jìn)給的路徑返回，移動(dòng)預(yù)定的后退距離后停止。用這種方法可以保證測端與工件接觸后只移動(dòng)一段很小的距離，就立即與工件脫離接觸。測端要能與工件接觸后只移動(dòng)很小的距離，就立即與工件脫離接觸。測端只要能與工件接觸，就一定是沿一個(gè)安全的測量軌跡進(jìn)給的，新詞按原軌跡回也就不會在與工件其他部分碰撞。