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當前位置:首頁技術文章臺式掃描電鏡

臺式掃描電鏡

更新時間:2021-01-11點擊次數:1340

臺式掃描電鏡為滿足客戶的“想要不進行樣品前處理,直接啟動設備,快速且簡單獲取目標樣品數據“需求,TM4000系列進行了

臺式掃描電鏡可觀察大直徑為80 mm,厚度為50 mm的樣品。設備內置光學相機 (選配),可輕松尋找目標樣品。

臺式掃描電鏡從裝樣到獲取圖像僅需3分鐘左右,優化了原來的形狀觀察、元素分析到報告制作的工作流程。

僅需選擇圖像和模板即可完成Word®、Excel®、Powerpoint®格式的報告。

 

全新設計的電子光學系統實現了高畫質圖像

樣品: 水泥 5 kV UVD
樣品:水泥 5 kV UVD

環保型SEM采用無油真空系統,任何地方均可安裝

采用無油泵和無需做對中的預對中燈絲

項目TM4000PlusTM4000
放大倍率×10~×100,000 (底片倍率)
×25~×250,000 (顯示器倍率)
加速電壓5 kV、10 kV、15 kV
圖像信號背散射電子
二次電子
合成 (背散射電子+二次電子)
背散射電子
真空模式導電體 (背散射電子)
標準
減輕荷電
標準
減輕荷電
圖像模式(背散射電子)標準(BSE)、陰影像1、陰影像2、凹凸形貌像
樣品移動范圍X: 40 mm Y: 35 mm
大樣品尺寸80 mm(直徑) 50 mm(厚度)
電子槍預對中型
鎢燈絲
探測器背散射電子: 高靈敏度4分割背散射電子探測器
二次電子: 高靈敏度低真空二次電子探測器
背散射電子: 高靈敏度4分割背散射電子探測器
圖像自動調整功能自動啟動、自動聚焦、自動亮度調整
圖像存儲像素2,560×1,920 像素、1,280×960 像素、640×480 像素
圖像格式BMP、TIFF、JPEG
數據顯示標尺、微尺值、放大倍率、日期、時間、圖像No.WD、注釋、加速電壓、真空模式、圖像模式、圖像信號
真空系統(真空泵)渦輪分子泵: 67 L/s 1臺
隔膜泵: 20 L/min
操作輔助功能電子束旋轉、預設倍率(3級)
電子束偏轉(±50 µm @ WD6.0 mm)
安全功能帶過電流保護功能、內置漏電斷路器
尺寸&重量主機: 330(長)×614(寬)×547(高) mm、52 kg(motor drive stage)
主機: 330(長)×617(寬)×547(高) mm、52 kg(manual stage)
隔膜泵: 144(長)×270(寬)×216(高) mm

 

僅需選擇圖像和模板即可完成Word®、Excel®、Powerpoint®格式的報告。

 

電子光學系統實現了高畫質圖像

樣品: 水泥 5 kV UVD
樣品:水泥 5 kV UVD

環保型SEM采用無油真空系統,任何地方均可安裝

采用無油泵和無需做對中的預對中燈絲

僅需選擇圖像和模板即可完成Word®、Excel®、Powerpoint®格式的報告。

 

電子光學系統實現了高畫質圖像

樣品: 水泥 5 kV UVD
樣品:水泥 5 kV UVD

環保型SEM采用無油真空系統,任何地方均可安裝

采用無油泵和無需做對中的預對中燈絲

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